中国粉体网讯 为确保制程关键材料「氢氟酸」稳定供应并友善环境，台积电宣布，已携手供应商以磷肥废料替代萤石，在不影响原有制程品质的前提下成功产制氢氟酸。

电子级氢氟酸主要应用于半导体制造过程的清洗和刻蚀等工序，它的纯度和洁净度对集成电路的良品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。依据金属杂质含量和液体中颗粒数目，电子级氢氟酸分为：EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等级别5个级别，其中UP-SSS级别（相当于SEMIG5质量标准，金属杂质要求≤10ppt）的氢氟酸纯度最高，是12寸晶圆及更高规格的电子半导体产品制造环节必须用到的关键材料。

氢氟酸生产通常以萤石为原料，由于生产困难且精炼工艺复杂，要在生产过程中实现显著的碳减排十分困难。据了解，为了促进可持续发展，台积电自2021年以来一直与供应商合作，评估氢氟酸替代原材料的可行性。为使质量符合半导体工艺标准，台积电不仅在来料阶段提前指导供应商提供质量保证证书(CoA)，更协助供应商开发独立的生产线进行测试。经过反复调整，台积电对工艺进行优化，确保后续生产质量处于良好状态。

台积电与供应商合作，利用磷肥废料生产氢氟酸

截至2023年2月，台积电有两家晶圆厂已应用这种环保氢氟酸，既减少了萤石的使用量，二氧化碳排放量也成功减少了12吨，现其他台积电晶圆厂现在也在试生产中。台积电预计在所有晶圆厂引入这种环保氢氟酸后，可减少12万吨以上的二氧化碳排放量，相当于58个台北大安森林公园一年的二氧化碳吸附能力。

参考来源：DIGITIMES科技网、多氟多等

(中国粉体网编辑整理/昧光)

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